第89章启动制备硅单晶
回到家里,李国成拿出两本关于半导体的书籍,又大致看了一遍。没有任何遗漏后,在脑海开始模拟制备晶圆的流程。
主要的流程为提拉硅单晶棒、切片和研磨。
提拉硅单晶棒需要一个不受污染的硅单晶炉。根据书上知道,目前常用的是惰性气体氩或氢气作为保护气体。前者目前不知道怎么制备,放弃;后者非常危险,放弃。
想到后世自己的企业里有一家子公司就是生产真空炉。当时自己非常好奇,亲自参观并听取汇报,并亲自操作,抽取真空到10的负5次幂。
这不就是非常适用的无污染空间吗?!真空炉里放入电加热的坩埚,不就是非常完美的硅单晶炉。
切片,可以采用后世常用的线切法。把单晶棒切成需要的薄片。
研磨,需要设计一个研磨设备,通过研磨除去切片所造成的锯痕及表面损伤层,有效改善单晶硅片的翘曲度、平坦度与平行度。
其中最难的就是提拉硅单晶棒。李国成在脑海里模拟出硅单晶炉,抽完真空,加入提纯后的硅粉,加热,溶解,放入籽晶,旋转提拉。
一根半径为2cm、长10cm的硅单晶棒被提拉出来。
固定晶棒,然后开始切片。再然后就是研磨。
每一道工序都反复尝试,确保最优组合,最佳路径。
差不多过去了2个小时,所有工序成型,烙印在脑海中。
接下来,实验室的工作安排就是:购买真空炉,设计切片机和研磨机。
至于硅粉提纯,这个自己不擅长,让吴连奎想办法。
完美。
睡觉。
第二天起床,进入秘境完成早课,开门进入实验室。这里马上就要启动了,心里非常激动。
看到旁边的柴油发电机,顿感不香了。之前考虑所有工作都需要在秘境实验室开展,所以,必须要有电。现在可以正大光明地在轧钢厂实验室制备晶圆。所以这个柴油发电机就没有太大的作用。除了留下那个发动机,无聊时自己可以研究之外,其他的都可以处理了。
设计高端芯片需要无尘工作间。当前的条件,无法建立。国内没有听说有那个机构有高标准的无尘工作间。李国成知道无尘工作间的建造原理,但是成本太高。轧钢厂肯定申请不下这笔资金购买这些东西。
以后秘境的实验室专门用于研究芯片。这里可是最为完美的纯净空间。
李国成带着愉悦的心情走出房门,发现下雪了,天空飘满了雪花,房顶上,树上,地上都积了厚厚的一层白雪,整个大地都穿上了银白色的大衣,覆盖住了下面的肮脏。
漫天的雪花在空中飞舞,打在脸上也不感觉凉,趁着天没有亮,踩着没上脚面的积雪,来到了轧钢厂。除了门岗,工厂里空空荡荡的。
走进了工厂,愉悦的心
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